3D光學非接觸輪廓粗糙度儀利用白光干涉來測量納米級至微米級的表面形貌，并且具有業界大視場下的高垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡（1.25倍-100倍），可以表征具有不同表面形狀和結構的樣品。而且在任何放大倍數下，系統的縱向范圍都能夠達到亞-埃至毫米級。3D光學非接觸輪廓粗糙度儀使測量結果不管在科研還是工業環境中都具有超高的可靠性和可重復性。3D光學非接觸輪廓粗糙度儀簡潔的操作界面通過對測量和數據獲取過程的簡化大大提高了系統和人力效率；的可視工作流程工具提供了直觀的分析選項。3D光學非接觸輪廓粗糙度儀可廣泛的應用于：機械，光伏材料，電子材料，航空航天，光學材料和醫療器械等領域。
3D光學非接觸輪廓粗糙度儀的傾斜測量頭為用戶提供了的靈活性，實現快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結合頭部傾斜功能，光學輪廓儀這一技術實現了將觀察位置保持在焦平面處，為用戶實際使用時帶來了很大便利。
準確追蹤和使用的簡便性對于在不同表面上快速檢測是至關重要的，這樣在批量測試時速度也大大提高。
3D光學非接觸輪廓粗糙度儀的功能：
1)一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。
2)測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
3)測量中提供拼接測量功能。
4)分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。